Menu

Analyse von Wasserstoffleckagen mittels mikroelektromechanischer Systeme

© Hahn-Schickard, Herausgeber FSKZ e. V.

Das Bild zeigt einen MEMS-Gassensor aufgenommen mit einem Rasterelektronenmikroskop. Das Herzstück der Sensorstruktur bildet eine dünne perforierte Membran, in der ein Heizelement und Temperatursensoren integriert sind
© Hahn-Schickard, Herausgeber FSKZ e. V.